熱式質量流量計（jì）(控製器)使用中注（zhù）意事項

(1)儀表使用（yòng）時,使用環境應（yīng）滿足說明書中規定的環境條件和使用攏術規定,流ZUI大值應在所選儀表（biǎo）程的（de）規定範圍內。

(2)為了（le）保證 MFM/MFC可緣工作和維護使用方便,儀表使用時應配套安裝適當截止、過濾器,幹（gàn）燥器、單（dān）向、減壓器和背壓等。

(3)由於該儀表容易發生堵塞現象,所（suǒ）以使用中要經常啟用“清（qīng）洗”過程和定期清（qīng）洗配套過濾器。

(4)使用中進行“清洗”操作時,“清洗”結東,不要直接轉入“閥控”位,應先置於“關閉位覺,然後,再轉至“控（kòng）”位。

(5)對於反應係統,建議在 MFM/MFC入口處（chù）加裝過濾器,出口端加裝單向層,以防止異常情況發（fā）生（shēng）時,液體反應物倒流至儀表內使其損壞。

(6)對於常壓（yā）係統,一般選擇減壓器和過濾器與其配套,以便保證儀表可運行和控精度。

(7)對於高壓係統（tǒng）,應在 MFM//MFC的上遊（yóu）加裝減壓閥、過（guò）濾器,下遊加裝背壓閿（wén）(或其他節流裝)及壓力表,以便保證 MFM/MFC應有的工作壓差。

(8)對於（yú）矽烷這（zhè）樣的遇空氣易形成結晶的（de）氣體,應特別注意係統的密閉性(檢漏時,不要忽視減壓器),必要時設計上吹洗旁路（lù）,以便進（jìn）行氮氣吹（chuī）洗或正壓保待。

(9)對有高頻源的係統,應注意屏（píng）慧,並做好接地,一般選擇單（dān）點接地為宜。

(10)對於高真空係統,應盡（jìn）量減少氣略接頭,對須（xū）有的（de）接頭,要嚴格密封或（huò）采用VCR等接頭

(11)對於 MFM/MFC的安裝位置,應盡景選擇水平位置、並且安裝麵要水平、安裝位置（zhì）要易於裝卸、檢、調零。安裝時要盡量避免受到（dào）撞擊,安裝固定要（yào）安全可靠。

(12)使（shǐ）用（yòng）中,如果工藝係統複雜或使用特殊（shū）氣體,儀表的測控係統（tǒng）啟用應建立專用的操作規程。

(13)使用中若發現儀表零點偏移時、可通過（guò）外罩（zhào）上的調（diào）零孔調整,也可揭開外罩調整,但量程調整電位器不得輕易調整。

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